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    智庫建議

    董亞秋 許有志 | 多措并舉 加快實現寬禁帶半導體高端原材料及裝備自主可控
    發(fā)布日期:2020-08-21 作者:董亞秋 許有志 信息來源:中咨智庫 訪問次數: 字號:[ ]

    近年來,以氮化鎵、碳化硅等寬禁帶化合物為代表的第三代半導體材料迅速發(fā)展,其適用于高溫、高功率、高頻以及高輻射等惡劣條件,已成為新一代信息技術、能源互聯(lián)網、新能源汽車、國防安全的關鍵材料,是西方對我技術封鎖的重中之重。近期,美國產業(yè)與安全局延長并升級對華為供應鏈禁令,規(guī)定只要芯片代工廠采用美國的技術和設備為華為代工芯片,一律要先取得美政府同意。《瓦森納協(xié)定》擴大半導體出口管制范圍以及日韓半導體材料之爭均警示我們應加快突破寬禁帶半導體高端原材料和裝備瓶頸,加強自主可控保障力度,助力我半導體產業(yè)實現“彎道超車”。

    我寬禁帶半導體面臨發(fā)達國家日趨嚴峻的技術封鎖

    當前,5G 通信技術、新能源汽車推廣以及光電應用推動寬禁帶半導體產業(yè)蓬勃發(fā)展,各國積極開展戰(zhàn)略部署,通過建立創(chuàng)新中心、聯(lián)合研發(fā)等方式,加大產學研政協(xié)同組織和投入,推進產品級開發(fā)和終端應用,形成了美歐日三足鼎立的產業(yè)布局,其中美國憑借科銳、道康寧等國際巨頭,居于領導地位,占有全球碳化硅產量的70—80%。而隨著中美貿易爭端加劇,美不斷加大對我寬禁帶半導體材料技術封鎖。美外資投資委員會以“國家安全”為由封殺了多起中資參與的并購案,包括我產業(yè)基金對美、德半導體材料設備企業(yè)的收購。

    三大瓶頸制約我寬禁帶半導體材料自主可控

    我寬禁帶半導體材料研發(fā)始于2004年,發(fā)展至今在國際仍處于產業(yè)跟跑階段,關鍵核心技術亟待突破。當前,寬禁帶半導體在電力電子和射頻器件領域面臨重要窗口期,國際半導體產業(yè)巨頭尚未對行業(yè)標準和技術形成完全壟斷,在政策和市場雙重推動下,我國寬禁帶半導體產業(yè)發(fā)展正當時。但工業(yè)基礎薄弱、產業(yè)化滯后、產業(yè)生態(tài)不完善始終制約我寬禁帶半導體材料實現自主可控,表現為三大瓶頸:

    高端原材料、關鍵技術裝備遭“卡脖子”

    部分籽晶、高純碳粉、高純氣體等原材料,石墨坩堝、碳基保溫材料等生產物料主要依賴進口,存在被國外壟斷、禁運的風險。生產設備國產化率不高,如單晶爐主要由美國科銳、德國愛思強、日本三菱供貨,研磨機、拋光機、外延爐等生產裝備,微觀分析儀器等檢測設備也主要依賴進口。

    工藝技術差距制約質量提升

    國內企業(yè)在制備碳化硅晶圓的技術工程化過程中仍存在提純、控溫、切割拋光等工藝技術難題,同時分析檢測手段相對不足,微觀特性差距嚴重影響晶體材料的質量和性能,導致質量不及國外,成本較高,器件企業(yè)不敢用,國產化替代難。

    國外產業(yè)生態(tài)壁壘難以打破

    國內碳化硅材料企業(yè)規(guī)模較小,如北京天科合達半導體公司2—4英寸碳化硅晶圓的產能僅7萬片/年,而領域代表性企業(yè)美國科銳的產能按6英寸折算約為80萬—100萬片/年,約占全球市場的80%。此外,國外半導體材料研發(fā)投入比國內早近 20年,市場占有率較高,導致國內器件企業(yè)的研發(fā)大都建立在國外晶圓的基礎上。而國內半導體材料企業(yè)由于初期難以得到下游器件企業(yè)的技術反饋,質量提升較慢。

    3幾點建議

    聚焦高端原材料、制備及檢測裝備短板,突破關鍵核心技術

    應充分發(fā)揮材料、工藝和裝備一體化優(yōu)勢,盡快突破大尺寸、高性能單晶襯底產業(yè)化技術,結合產業(yè)發(fā)展的需要,開發(fā)先進的國產化工藝裝備和材料,以滿足寬禁帶半導體高速發(fā)展的需求。

    以應用為導向,建立“技術供給與市場拉動一體化”的試點示范組織實施機制

    制定包括技術集成、產品應用、商業(yè)模式、工程監(jiān)管、標準檢測等在內的系統(tǒng)化、集成化實施方案,重點開展面向電動汽車、新能源與能源互聯(lián)網、5G 通信以及智能照明等重點領域的試點示范。

    推動央企在寬禁帶半導體材料技術領域開展聯(lián)合攻關

    當前,多家中央企業(yè)均積極布局寬禁帶半導體材料研發(fā)與應用。建議主管部門統(tǒng)籌整合上下游央企科研力量,給予資金支持和政策傾斜,圍繞寬禁帶半導體材料制備工藝技術和設備開展聯(lián)合攻關,加快實現我寬禁帶半導體產業(yè)自主可控。

    鼓勵民營、外資企業(yè)投資半導體制造業(yè)

    鼓勵發(fā)展寬禁帶半導體專用材料及器件生產線,尤其針對有半導體行業(yè)經驗的大型企業(yè)集團。應用方面建議從對可靠性要求相對較低的消費級電子產業(yè)、對寬禁帶半導體器件有剛性需求的產業(yè)(如光伏逆變器、5G 通信)、受政策導向影響較大的產業(yè)(如充電樁)等逐步切入市場。

    企業(yè)最大限度利用海外成熟技術和人才

    建議針對美、日等對我封鎖嚴格的國家,可通過人才和技術引進,或者在當地設研發(fā)中心的方式獲得技術資源。針對歐洲和俄羅斯,可考慮尋找中小規(guī)模材料或器件企業(yè)整體并購或團隊整體引進的方式獲得合作。

    注釋:固體中電子的能量具有不連續(xù)的量值,電子都分布在一些相互之間不連續(xù)的能帶上。價電子所在能帶與自由電子所在能帶之間的間隙稱為禁帶或帶隙。所以禁帶的寬度實際上反映了被束縛的價電子要成為自由電子所必須額外獲得的能量。硅的禁帶寬度為1.12電子伏特(eV),而寬禁帶半導體材料是指禁帶寬度在2.3eV及以上的半導體材料,典型的是碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、金剛石等材料。




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